凈化等級標準
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檢測凈化環境中單位體積內所含塵埃顆粒數。
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潔凈度級別 |
塵粒****允許數/立方米 |
塵粒****允許數/2.83升 |
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≥0.5μm |
≥5μm |
≥0.5μm |
≥5μm |
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100級 |
3,500 |
0 |
10 |
0 |
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1000級 |
35,200 |
200 |
100 |
0 |
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10,000級 |
350,000 |
2,000 |
1,000 |
6 |
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100,000級 |
3,500,000 |
20,000 |
10,000 |
57 |
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300,000級 |
10,500,000 |
60,000 |
30,000 |
171 |
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